Edwards 愛德華羅茨泵維修EH1200

愛德華EH系列機(jī)械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓

力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠，從而減少總體抽氣時(shí)

間。真空泵在使用一定的時(shí)間后，（1）會(huì)出現(xiàn)泵無法啟動(dòng)（2）真空泵達(dá)不到極限真空（3）真空泵

的抽速太慢（4）真空泵工作中的溫度過高（5）真空泵的噪音過大（6）真空泵漏油，這就需要維修

更換耗材。

Edwards 愛德華羅茨泵維修EH1200

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Edwards愛德華半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制

藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用的真空技術(shù)*。 這些泵結(jié)

構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備優(yōu)良的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需

求。